Excimer-Laser
Excimerlaser sind eine spezielle Art von Gaslaser, der durch eine elektrische Entladung betrieben wird, bei der das Lasermedium ein Excimer oder genauer ein Exciplex in bestehenden Konstruktionen ist. Dies sind Moleküle, die nur in einem angeregten elektronischen Zustand mit einem Atom existieren können. Sobald das Molekül seine Anregungsenergie auf ein Photon überträgt, sind seine Atome nicht mehr aneinander gebunden und das Molekül zerfällt. Dies reduziert die Bevölkerung des niederenergetischen Zustands drastisch und erleichtert so die Umkehrung der Bevölkerung erheblich. Derzeit verwendete Excimere sind alle Edelgasverbindungen; Edelgase sind chemisch inert und können nur im angeregten Zustand Verbindungen bilden. Excimer-Laser arbeiten typischerweise bei ultravioletten Wellenlängen mit Hauptanwendungen, einschließlich Halbleiter-Photolithographie und LASIK-Augenchirurgie. Häufig verwendete Excimermoleküle umfassen ArF (Emission bei 193 nm), KrCl (222 nm), KrF (248 nm), XeCl (308 nm) und XeF (351 nm). [31] Der molekulare Fluorlaser, der bei 157 nm im Vakuum-Ultraviolett emittiert, wird manchmal als Excimer-Laser bezeichnet, scheint jedoch insofern ein Missverständnis zu sein, als F2 eine stabile Verbindung ist.
